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XRD掠入射(GIXRD)检测平台 半导体XRD物相分析
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发布时间: 2022-10-15 11:34
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XRD掠入射(GIXRD)检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


薄膜测试xrd怎么计算x射线入射的深度


谢勒公式D=kλ/FWHM cosθ计算

D:晶粒尺寸(不叫离子尺寸的)

k:0.89

λ:XRD测试的x射线的波长,一般分kα1和kα2,海南XRD掠入射(GIXRD)检测,具体用那种需要问测试老师。

FWHM:半高宽

θ:衍射角

具体方法:选定强的衍射峰,测量其衍射角和半高宽(可用jade读取),XRD掠入射(GIXRD)检测测试,然后带入公式计算即可。






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1913年英国物理学家布拉格父子(W.H.Bragg,W.L.Bragg)在劳厄发现的基础上,不仅成功地测定了NaCl、KCl等的晶体结构,并提出了作为晶体衍射基础的公式——布拉格定律:

2d sinθ=nλ,式中,λ为X射线的波长,衍射的级数n为任何正整数。

当X射线以掠角θ(入射角的余角,又称为布拉格角)入射到某一具有d点阵平面间距的原子面上时,在满足布拉格方程时,会在反射方向上获得一组因叠加而加强的衍射线。

物质有没有固定的熔点、沸点,并没有验证是一个纯净物、包括晶体的独有的予以可区别其它物质的测试属性。晶体的熔点、沸点是相对比较固定,XRD掠入射(GIXRD)检测平台,熔程也是比较窄,但拥有这一熔点、沸点的物质未必一个;有些非晶体的纯净物,其熔点沸点也会在一定数值、熔程也会很窄。总之,可能在二十世纪初期还可以这样做,但现在更科学的大型精密仪器分析法出现后,就不被认同了。


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XRD图谱怎么分析物质结构

随着计算机技术的发展,现在都是通过导入研究者测试得到的XRD图谱,电脑软件(如Jade)通过匹配度寻找与之比配的pdf卡片,很方便。

在XRD中,不仅可以定性得到物质的种类,相结构。而且可以通过谢乐公式得到晶粒尺寸以及通过精修手段得到晶胞常数。

实际操作过程中,一般都能得到一个XRD的测试图谱,在你尽可能提供多的信息情况下,比如物相的制备方法,XRD掠入射(GIXRD)检测实验室,所包含的元素等,与标准卡片对比,找到跟你XRD图谱一样的标准图谱,再分析,当然得到的结果中可能有多种物相,那样你就得根据你图谱上的峰的位置一条一条地去找卡片库,匹配,然后就OK了



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