半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，大功率XRD检测平台，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

[物相分析方面的问题]　　样品卡与标准卡对比原则？

　　提供几条原则供大家参考：

　　1. .对比 d 值比对比强度要重要；

　　2. 低角度的线要比高角度的线要重要；

　　3. 强线比弱线重要；

　　4. 要重视特征线；

　　5. 同一个物相可能有多套衍射数据，但要注意有的数据是被删除的；

　　6. 个别低角度线出现缺失；

　　7. 由于样品择优取向某些线的强度会发生变化；

　　8. 有时会出现无法解释的弱线，这是正常的，不能要求把所有的线都得到解释。

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XRD是什么意思?

XRD是英文X-ray diffraction或者X-Ray Difractomet的缩写，即X射线衍射，或X射线衍射仪，通过对材料进行X射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。我们经常也把X射线衍射分析技术直接称为XRD分析，或者简称为XRD。

XRD的分析手段有2种，分单晶X射线衍射法，多晶X射线衍射法。对应地，所用的XRD设备，也分为单晶衍射仪和多晶衍射仪。XRD的测试原理是怎样的?

XRD的测试原理，是Bragg方程，即n=2*d*sin8，其中N为入射线波长，d为晶面间距，0为衍射角。换言之，XRD对于晶体结构的测试才是有效的。因为晶体都会存在其特有的结晶学特征，也就是空间点阵，14种Bravais格子代表了其晶格类型，晶面参数又限定了其结点间的相对数量关系。于是，参考Bragg方程，让X射线通过晶体，只要满足Bragg衍射条件，便能提供晶体内原子排布的信息。所以，不管是采用德拜照相法、衍射仪法等，都会在8角观测到衍射。当然，也可以说XRD的基础是Laue衍射条件，但其实它和Bragg衍射条件本质是一致的，只是表达不同。

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XRD的基本原理

当一束单色 X射线照射到晶体上时，晶体中原子周围的电子受X 射线周期变化的电场作用而振动，从而使每个电子都变为发射球面电磁波的次生波源。所发射球面波的频率与入射的 X 射线相一致。基于晶体结构的周期性，晶体中各个原子（原子上的电子）的散射波可相互干涉而叠加，称之为相干散射或衍射。X射线在晶体中的衍射现象，实质上是大量原子散射波相互干涉的结果。每种晶体所产生的衍射花样都反映出晶体内部的原子分布规律。根据上述原理，某晶体的衍射花样的特征主要的是两个：1) 衍射线在空间的分布规律；2) 衍射线束的强度。其中，河北大功率XRD检测，衍射线的分布规律由晶胞大小，形状和位向决定，衍射线强度则取决于原子的品种和它们在晶胞的位置。因此，不同晶体具备不同的衍射图谱。 

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