XRD物相分析检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

Omega扫描方法的原理如图1所示。在测量过程中，晶体以恒定速度围绕转盘中心的旋转轴，即系统的参考轴旋转，X射线管和带有面罩的数据探测器处于固定位置不动。

X射线光束倾斜着照射至样品，经过晶体晶格反射后探测器进行数据采集，江苏XRD物相分析检测，在垂直于旋转轴（ω圆）的平面内测量反射的角位置。

选择相应的主光束入射角，并且检测器前面的面罩进行筛选定位，从而获得在足够数量的晶格平面上的反射，进而可以评估晶格所有数据。整过过程必须至少测量两个晶格平面上的反射。

对于对称轴接近旋转轴的晶体取向，记录对称等值反射的响应数（图2），整个测量仅需几秒钟。

利用反射的角度位置，计算晶体的取向，例如，通过与晶体坐标系有关的极坐标来表示。此外，omega圆上任何晶格方向投影的方位角都可以通过测量得到。

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基于Omega扫描全自动晶体定向仪原理

单晶的生长和应用需要确定其相对于材料外表面或其它几何特征的晶格取向。

目前主要采用的定向方法是X射线衍射法，测量一次只能获取一个晶格的平面取向，测量出所有完整的晶格取向需要进行反复多次测量，通常是进行手动处理，而完成这个过程至少需要几分钟甚至数十分钟。

全自动晶体定向仪采用先进omega扫描方法进行扫描测试，Omega全自动晶体定向仪可以在很短的时间内，通过一次测量获取晶体的全部晶格数据。

因此，omega全自动晶体定向仪特别适合于系列研究和工业应用。

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5——定性分析方法

(1) 图谱直接对比法：直接比较待测样品和已知物相的谱图，该法可直观简单的对物相进行鉴定，XRD物相分析检测机构，但相互比较的谱图应在相同的实验条件下获取，该法比较适合于常见相及可推测相的分析

(2)数据对比法：将实测数据(2θ、d、I/I1)与标准衍射数据比较，可对物相进行鉴定

(3)计算机自动检索鉴定法：建立标准物相衍射数据的数据库(PDF卡片)，将样品的实测数据输入计算机，由计算机按相应的程序进行检索，但这种方法还在不断地完善，主要的分析软件：Jade/X"Pert HighScore/ Search Match。

6——xrd定量分析方法

每种物相的衍射线强度随其相含量的增加而提高，由强度值的计算可确定物相的含量。定量分析可用来确定混合物中某一化合物的含量。如：XRD图谱的其他常见用途——晶面择优取向。

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