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单晶XRD检测平台 半导体研究所 河北单晶XRD检测
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单晶XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

在做单晶X射线衍射(单晶XRD)测试时,单晶XRD检测哪里可以做,此法用射线计数仪直接记录射线的强度。单晶衍射仪有线性衍射仪、四圆衍射仪和韦森堡衍射仪等,其中以四圆衍射仪,为通用。所谓四圆是指晶体和计数器藉以调节方位的四个圆,分别称为φ圆、圆、w圆和2θ圆。φ圆是安装晶体的测角头转动的圆;圆是支撑测角头的垂直圆,测角头可在此圆上运动;w圆是使圆绕垂直轴转动的圆,2θ圆与w圆共轴,单晶XRD检测价格,计数器绕着这个轴转动。这四个圆中,w圆、φ圆和圆用于调节晶体的取向,使某一的晶面满足衍射条件,河北单晶XRD检测,同时调节2θ圆,使衍射线进入计数器中。通常,四圆衍射仪配用电子计算机自动控制和记录,可以测定晶格参数,并将衍射点的强度数据依次自动收集,简化了实验过程,而且大大提高了数据的度。因此,它已成为当前晶体结构分析中强有力的工具。



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研究薄膜结构的方法多种多样,如TEM、SEM、电子探针、电子衍射、离子衍射、X射线衍射和衍射等等。在这些方法中,X射线衍射比较好。由于X射线的本质使X射线方法对厚度从原子尺度至几十微米的薄膜是灵敏的。所以,不论对于单晶膜、多晶膜还是非晶膜,X射线方法以其具有非破坏性、迅速、和制样简单的优点获得青睐。

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动力学衍射理论

Ewald的理论称为动力学理论。该理论考虑到了晶体内所有波的相互作用,认为入射线与衍射线在晶体内相干地结合,而且能来回地交换能量。两种理论对细小的晶体粉末得到的强度公式相同,而对大块完整的晶体,则必须采用动力学理论才能得出正确的结果。

布拉格方程

1913年英国物理学家布拉格父子(W.H.Bragg,W.L.Bragg)在劳厄发现的基础,不仅成功地测定了NaCl、KCl等的晶体结构,并提出了作为晶体衍射基础的公式──布拉格方程:2dsinθ=nλ

式中d为晶面间距;n为反射级数;θ为掠射角;λ为X射线的波长。布拉格方程是X射线衍射分析的根本依据。



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