XRD小角度检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，台湾XRD小角度检测，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

XRD测试是可以测量块状和粉末状的样品，对于不同的样品尺寸和样品性质有不同的要求，下面是总结出来对测量块状和粉末状的样品的要求：

1）、金属样品如块状、板状、圆拄状要求磨成一个平面，面积不小于10X10毫米，如果面积太小可以用几块粘贴一起。

2）、对于片状、圆拄状样品会存在严重的择优取向，衍射强度异常。因此要求测试时合理选择响应的方向平面。

3）、对于测量金属样品的微观应力（晶格畸变），测量残余奥氏体，要求样品不能简单粗磨，要求制备成金相样品，并进行普通抛光或电解抛光，消除表面应变层。

4）、粉末样品要求在3克左右，如果太少也需5毫克。要求磨成320目的粒度，约40微米。粒度粗大衍射强度底，峰形不好，分辨率低。要了解样品的物理化学性质，如是否，易潮解，易腐蚀、有毒、易挥发。

5）、对于不同基体的薄膜样品，要了解检验确定基片的取向，X射线测量的膜厚度约20个纳米。

6）、对于纤维样品的测试应该提出测试纤维的照射方向，是平行照射还是垂直照射，因为取向不同衍射强度也不相同。

7）、对于焊接材料，如断口、焊缝表面的衍射分析，要求断口相对平整。

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测试样品要求

XRD可以测试粉末、薄膜、块体、镀层、液体及不规整样品，基本没有不能测试的非气体物质。

粉末要求颗粒尺寸大于200目，200-300目为适合，手摸无颗粒感，类似于面粉的质感，质量尽量提供0.1 g。块体样品尽量长宽不大于20 mm，高不大于15 mm，并且要求表面平整光洁，好将块体样品的测试面打磨一下，XRD小角度检测服务，并且标出测试面。

(1)首先把研磨好的符合要求的粉末样品装入凹槽；

(2)用干净的玻璃片或者称量试纸通过从中间到边缘打圈的方式按压粉末并压实。然后把样品架外延洒的粉末擦掉;

(3）后制成的样品，需要样品表面和样品架外延表面在同一平面上，并且样品表面要平整光洁。

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运动学衍射理论

Darwin的理论称为X射线衍射运动学理论。该理论把衍射现象作为三维Frannhofer衍射问题来处理，认为晶体的每个体积元的散射与其它体积元的散射无关，而且散射线通过晶体时不会再被散射。虽然这样处理可以得出足够的衍射方向，也能得出衍射强度，但运动学理论的根本性假设并不完全合理。因为散射线在晶体内一定会被再次散射，除了与原射线相结合外，散射线之间也能相互结合。Darwin不久以后就认识到这点，并在他的理论中作出了多重散射修正。

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