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半导体XRD物相分析 AlGaN材料XRD检测分析
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x射线应力测定原理

平行相干的X射线射到金属结晶表面时,会发生衍射。

描述X射线衍射现象的布拉格公式为:

通常取衍射级数n为1。

因此,可通过测量衍射角的变化来确定晶格间距s的变化。

当测定图b所示构件上一点O在x方向的表面应力时,须在与试件表面法线z成角度的方向上射入一束波长为λ的X射线。

在各向同性材料的均匀弹性变形条件下,有如下的关系:

式中E和v分别为材料的弹性模量和泊松比; 为ψ方向的应变;为法线取OP方向的特定晶格面的X射线衍射角;θ0为材料无应力状态时的衍射角。



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XRD定性分析

实际上,XRD作为定性分析手段并不是盲目的,AlGaN材料XRD检测分析,不是所有情况都需要通过Jade对样品进行Search & Match, 而实际上Jade由于标准卡片的数目限制也无法涵盖所有物质的标准谱图。因此,借助分析软件只是为了便利,从根本上来说,重要的是XRD谱图本身。这一点和物理吸脱附实验一样,关键的是吸附等温线,而比表面积,孔容孔径只是采用理论模型针对吸附等温线进行处理而已。这个本末关系大家一定要搞清楚。

为了强调XRD谱图本身的重要性,采用合金的形成与否作为例子进行简单地介绍。对于双金属(多金属)纳米颗粒而言,XRD是一种常见的判断其是否形成合金的手段。判断的依据不是基于JCPDS标准图谱,而仅仅基于XRD衍射图样。



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在做单晶X射线衍射(单晶XRD)测试时在与很多同学沟通中了解到,好多同学对单晶XRD测试不太了解,针对此,台湾AlGaN材料XRD检测,相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;

单晶的定义:所谓单晶(monocrystal, monocrystalline, single crystal),即结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律地、周期性地排列,或者说晶体的整体在三维方向上由同一空间格子构成,整个晶体中质点在空间的排列为长程由序。

单晶的性质:均匀性、各向异性、固定熔点、规则外形、对称性等。

单晶X射线衍射:利用单晶体对 X射线的衍射效应来测定晶体结构的实验方法。其中X射线衍射在材料学、化学、矿物学及晶体学中有着极其重要的作用,他是研究一切结晶物质结构和物相的主要手段。单晶结构分析应用范围十分广泛,凡是可获得单晶体的样品都可用于分析。另外,该方法样品用量少,只需0.5mm大小的晶体。



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