XRD薄膜检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

平行光路还有一种比较重要的应用是通过测试反射率(XRR)分析薄膜的厚度、密度以及薄膜表面界面的粗糙度等信息，XRD薄膜检测服务，这种测试不需要薄膜是外延的，甚至是有机薄膜也可以测试，重要的是样品面要足够平整。

单晶结构解析

还有一点需要说明的是，现在有不少人在做单晶方面的研究，好不容易培养出来一个小晶体，也听说可以通过XRD测试结果对晶体结构进行解析，于是拿着晶体兴匆匆去常规粉末或薄膜XRD的实验室，要求老师给他解结构。其实他们是把四圆单晶衍射仪和常规的粉末或薄膜XRD仪器搞混了。对于高分辨薄膜XRD虽然也能对部分单晶进行测试，XRD薄膜检测实验室，但是也于对晶体品质（晶体结晶质量）进行分析，对于结构解析是无能为力的。如果有晶体结构解析的需要，就选择四圆单晶衍射仪进行相关的实验。

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1.如果谱图中出现了并峰（两个峰并成了一个大峰）怎么解释？

答：出现并峰的这两个峰应该离的很近，并峰说明这两个峰对应的晶面没有长好（如果对样品进行了某种处理，那么也有可能这种处理方式破坏了这两个晶面）

2.当某种物质部分结晶时，为使定量，有没有其他辅助方式？

答：部分结晶的物相至少要出现三强峰，此时可以进行定量无需辅助。否则不能进行定量。

3.研磨样品200目怎么控制呢？

答：200目是大概的范围，可以用筛子筛分。

4.晶胞结构亚微米级别，研磨以后会不会破坏晶体结构，影响分析？

答：过度研磨是会破坏晶体结构，影响分析的。

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动力学衍射理论

Ewald的理论称为动力学理论。该理论考虑到了晶体内所有波的相互作用，台湾XRD薄膜检测，认为入射线与衍射线在晶体内相干地结合，而且能来回地交换能量。两种理论对细小的晶体粉末得到的强度公式相同，而对大块完整的晶体，则必须采用动力学理论才能得出正确的结果。

布拉格方程

1913年英国物理学家布拉格父子(W.H.Bragg，W.L.Bragg)在劳厄发现的基础，不仅成功地测定了NaCl、KCl等的晶体结构，并提出了作为晶体衍射基础的公式──布拉格方程：2dsinθ=nλ

式中d为晶面间距；n为反射级数；θ为掠射角；λ为X射线的波长。布拉格方程是X射线衍射分析的根本依据。

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