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特别行政XRD小角度检测 半导体XRD薄膜测试
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XRD小角度检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

sin2ψ法公式是基于布拉格定律和弹性理论推导出来的,弹性理论所涉及的对象被假定为均匀、连续、各向同性的介质。对于多晶金属材料来说,只有晶粒细小,没有织构,特别行政XRD小角度检测,才近似满足这样的假定。

因为,衍射用的X射线对被测材料的穿透能力极低,大多在几微米或十几微米的深度。因此,可以认为垂直于材料表面方向的应力分量均为零。只有在特殊加工(如强力的、大切削量的磨削)的条件下,致使主应力平面偏离试样表面,才可能出现τ13≠0,τ23≠0的情况。通常出现±ψ分叉情况,拟合曲线往往不具备椭圆属性,其实质应该是测角仪±ψ机构的系统误差造成的,因此无需过分强调椭圆拟合的必要性。

综上所述,X射线衍射残余应力测定的实际可操作过程就是选择若干ψ角(或若干对±ψ 角)分别测定衍射角2θφψ,然后进行计算。关于如何安排ψ平面和2θ平面的空间几何关系、如何获取衍射曲线、如何进行计算等方面,学者们研究出了许多方法。



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矿石XRD物相分析 矿石成分检测

矿石成分在线检测技术取消了人工取样、制样、化验等环节,实时对矿石进行分析并将结果发送至控制系统,具有矿石成分代表性强、实时可靠、减少取样人员、降低生产成本等特点,可以及时调整配矿方案,提高生产效率。目前矿石成分在线检测的主流技术有中子活化技术(prompt Gamma-ray Neutron Activation Analysis,简称PGNAA)和近红外光谱分析技术(Near Infra-Red Technology,简称NIR)。

每种元素对中子活化过程的反应不尽相同,这表现在两个方面。一方面是一些元素的活化性比另一些元素要高,例如铁、硫和氯非常活跃;而碳和氧的惰性很高。各元素间的另一个关键不同点在于每种元素会出(具有已知概率)的一组γ 射线能量。例如,氯元素会出能量不同的γ 射线,有名的是4.42 和6.42 MeV。通过特定仪器来检测特征γ 射线的能量可辨别物料中元素的种类,通过检测特定能量γ 射线的数量可辨别该元素的质量百分含量。





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薄膜厚度和界面结构的测定随着纳米材料的高速发展,纳米薄膜的研究也变得越来越重要。利用XRD研究薄膜的厚度以及界面结构也是XRD发展的一个重要方向。通过二维XRD衍射还可以获得物相的纵向深度剖析结果,也可以获得界面物相分布结果。物质状态的鉴别不同的物质状态对X射线的衍射作用是不同的,因此可以利用X射线谱来区别晶态和非晶态。一般非晶态物质的XRD谱为一条直线,平时所遇到的在低2θ角出现的漫散型峰的XRD一般是由液体型固体和气体型固体所构成。

晶体物质又可以分为微晶和晶态,微晶具有晶体的特征,但由于晶粒小会产生衍射峰的宽化弥散,而结晶好的晶态物质会产生尖锐的衍射峰。



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