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西藏自治XRD掠入射(GIXRD)检测 半导体单晶XRD靠谱
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发布时间: 2023-04-14 19:37
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XRD掠入射(GIXRD)检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


由于材料存在织构,其sin2ψ曲线呈震荡型,选取的ψ角范围不同,得到的拟合直线的斜率和残余应力存在明显差异。在未知材料是否存在织构、晶粒是否粗大的情况下,不可选取较小的ψ范围和较少的ψ站数进行残余应力测定,XRD掠入射(GIXRD)检测多少钱,否则会带来较大的测量误差。

对于sin2ψ曲线呈震荡型的织构材料,采用线性拟合未必是合理的,实际测量过程中,人们通常采用线性拟合的方式对这种震荡和测量误差引起的波动进行处理。关于ψ的范围,大达45°也未必合理,如果可以忽略穿透深度的影响,XRD掠入射(GIXRD)检测实验室,采用更大的ψ角会更有利于获得较为正确的结果。

对于粗晶粒材料或存在织构的材料而言,尽量扩大ψ角的设置范围,可以通过±ψ角的测量来消除ε-sin2ψ非线性分布的影响。对于小二乘法拟合回归直线而言,西藏自治XRD掠入射(GIXRD)检测,若自变量的间距越大(ψ范围越大),测量的数据越多(ψ站数越多),则拟合所得到的直线的准确度越高,测试得到的数值就越可靠。也可以通过增加X射线的照射面积,或是采用摆动法增加参与衍射晶粒的数量来提高测试精度。




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XRD衍射谱图上的衍射峰对应的晶面该怎么看

XRD 衍射峰一般用角度值表示,该值和微观上晶体的晶面间距是对应的,一个晶面间距对应一个特定的角度。当测试多晶,陶瓷时,因为存在晶格异常,偏大或偏小,会使衍射峰变宽。材料结晶越好,峰越窄,反之越宽。

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喷丸强化中的XRD残余应力检测

冷加工引起的塑性变形会导致#残余应力检测#残余应力的产生。残余应力的程度和性质(拉应力或压应力)取决于加工过程的程度和类型。

喷丸强化是一种冷加工工艺,在该工艺中,零件表面用称为喷丸的小球进行喷丸处理。该过程会在零件表面引起塑性变形,减少零件表面拉应力并引入有益的残余压应力。喷丸强化是类似于表面滚压的过程,两者都是表面塑性变形以形成残余压应力的深度分布。

在零件表面引入残余压应力可提高对疲劳失效和应力腐蚀开裂 (SCC) 的抵抗力,从而延长零件的使用寿命。

对钢、铝合金、钛合金、镍基合金和一些陶瓷来说很容易进行喷丸强化处理。而对于需要高循环疲劳和强度的零件,如弹簧、齿轮、凸轮轴、曲轴和涡轮叶片来说,喷丸强化是生产中关键的一步。

喷丸强化过程中的应力形成

典型的喷丸强化表面应力深度分布。在这个例子中,超过400 MPa 的残余压应力会在组件的次表面产生,在深度上应力方向和应力值的变化可通过 X 射线衍射法来确认。



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