大功率XRD检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，大功率XRD检测机构，以及行业应用技术开发。

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XRD即X-raydiffraction的缩写，X射线衍射，通过对材料进行X射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。X射 线是一种波长很短(约为20～0.06埃)的电磁波，能穿透一定厚度的物质，大功率XRD检测哪里可以做，并能使荧光物质发光、照相乳胶感光、*体电离。在用电子束轰击金属“靶”产生的X射线中，包含与靶 中各种元素对应的具有特定波长的X射线，称为特征（或标识）X射线。

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1、简介

X射线测试技术广泛用于各种薄膜材料的表征。薄膜材料不同于普通的粉末XRD表征，存在一定的限制和薄膜的特性。例如，当薄膜具有强烈的择优取向时，大功率XRD检测报告，只有特定晶面的衍射能被观察到，这也是为什么薄膜的测试表征比普通粉末表征难的原因。本文将综述X射线衍射技术用于薄膜的测试。

2、为什么薄膜材料要使用X射线来表征？

2.1、X射线分析的特点

随着先进薄膜材料制备技术的发展，用于表征薄膜材料的分析技术的水平和内容变得更加复杂和多样化。这其中X射线用于表征薄膜的技术有很大的发展。

利用X射线来表征材料有很长的历史。在对材料的晶体结构进行测试方面，X射线衍射技术是非常成功的。和电子束衍射相比，X射线衍射方法有以下特点：

l 非破坏性的，山西大功率XRD检测，并且无需特别的制样方法。

l 能够在特殊环境和常规环境下进行测试，例如高温高压下测试。

l 能够获得材料的平均结构信息，测试范围较广从nm级到cm级都可以表征。

l 对有机材料的破坏性也较低。

l 通过控制X射线的角度能够改变分析的材料的深度。

l 可以表征埋层材料的界面结构。

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X射线衍射技术（XRD）在建筑材料检测中的应用

应用实例采用X射线衍射分析时，扫描速度是一个很重要的试验参数，要根据不同建材产品的特征选择合适的扫描速度。如果扫描速度太快，会使衍射线强度下降，线形发生畸变，导致峰位偏移，分辨率下降；如果扫描速度太慢，又太浪费时间。

试验前，应事先准备好X射线衍射仪等设备，并选择合适的扫描范围、扫描电压和电流等条件。

由于不同物质其衍射图谱在衍射峰数目、角度位置、相对强度次序以至衍射峰的形状均会有所不同，将衍射图谱与标准PDF卡片进行比对，通过样品的X射线衍射图谱与已知的晶态物质的X射线衍射图谱的对比分析便可以完成样品物相组成和结构的定性鉴定；通过对样品衍射强度数据的分析计算，可以完成样品物相组成的定量分析。

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半导体XRD研究所-大功率XRD检测报告由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所为客户提供“结构性能测试,光电性能测试,性能形貌测试”等业务，公司拥有“半导体”等品牌，专注于技术合作等行业。，在广州市天河区长兴路363号的名声不错。欢迎来电垂询，联系人：王小姐。