XRD晶粒尺寸检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，香港特别行政XRD晶粒尺寸检测，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

如何在Origin上标记XRD图上的星号

1、选中卡片，然后双击-->弹出的文本框即为标准卡片信息，从中可以看到晶面间距d，晶面指数（hkl）以及标准衍射峰位2 theta等信息-->选中Export，可以将标准卡片中的信息导出为txt文件。

2、从txt中找到标准谱图所需要的信息：2 theta和I(f)值，然后将其copy到origin里面，设置2theta 为X轴数据，I(f)为Y轴数据，如图2所示

3、选中A(X1)和B(Y1)做折线图，并对谱图进行优化（线粗细：3.0，类型：B-spline; 坐标轴线粗细：3.0，字体大小：28），得到ZnO的XRD谱图

4、点击菜单栏中Graph-->New layer(Axe) -->(linked) Top X Right Y，添加新图层。然后右键点击“图层2”--> layer content， 将D(Y2)添加为layer content

5、双击图层2中所出现的折线图，在弹出的Plot O Details菜单中，将plot type改为 scatter; 点击右侧菜单中Drop lines选项，勾选Vertical，同时将线宽调整为3；再点击Symbol选项，将size改为0

6、调整图层2的横坐标范围，使横轴范围与图层1一致；调整图层2的纵坐标范围，让标准卡片处于适合的位置；美化谱图，然后在图中注明标准卡片的编号

欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~XRD晶粒尺寸检测

XRD晶粒尺寸检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

轮廓仪是一种两坐标测量仪器，仪器传感器相对被测工件表而作匀速滑行，传感器的触针感受到被测表而的几何变化，在X和Z方向分别采样，并转换成电信号，该电信号经放大和处理，XRD晶粒尺寸检测平台，再转换成数字信号储存在计算机系统的存储器中，计算机对原始表而轮廓进行数字滤波，分离掉表而粗糙度成分后再进行计算，测量结果为计算出的符介某种曲线的实际值及其离基准点的坐标，或放大的实际轮廓曲线，测量结果通过显示器输出，也可由打印机输出。

而利用先进的3D轮廓仪可以实现对硅晶圆的粗糙度检测、晶圆IC的轮廓检测、晶圆IC减薄后的粗糙度检测。

欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~XRD晶粒尺寸检测

XRD晶粒尺寸检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

实际应用

●实验准备

?样品做必要的清洗

?去加工应力

?确定衍射晶面。扫描样品在2θ=100-140°范围内的谱图，确定衍射晶面（峰背比较高，峰较窄，谱线平滑、衍射角高)

●实验设备

?同倾法：常规衍射仪，θ和2θ可单独转动即可。

?侧倾法：多功能样品台，样品可做Ψ侧倾，XRD晶粒尺寸检测报告，好可绕自身法线转动，则可测不同方向的应力。●扫描图谱

?选择Ψ角为0°，15°，25°，35°，45°

?选择侧倾法扫描

?电压40kV，电流40mA，Cu辐射，XRD晶粒尺寸检测哪家好，步进扫描，步长0.02°，计数时间4s

欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~XRD晶粒尺寸检测

XRD晶粒尺寸检测平台-半导体XRD测试机构由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所坚持“以人为本”的企业理念，拥有一支高素质的员工队伍，力求提供更好的产品和服务回馈社会，并欢迎广大新老客户光临惠顾，真诚合作、共创美好未来。半导体研究所——您可信赖的朋友，公司地址：广州市天河区长兴路363号，联系人：王小姐。