XRD倒易空间（RSM）检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

在做单晶X射线衍射（单晶XRD）测试时，工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对单晶XRD不太了解，针对此，相关同事对单晶xrd常见问答进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

1.怎么看独立可观测点和衍射点分别是多少？

答：可以在后缀是.abs文件中查看。

2.没有吸收校正文件，对后期发文章有影响吗？

答：这个不是必要提交文件，海南XRD倒易空间（RSM）检测，发文章主要提交cif， checkcif文件。

3.一般晶体长出来，在光学显微镜看，显微镜调到多少合适？

答：这个没有固定的，每个晶体大小不一样，先调低倍，再慢慢往上调。

4.如果键长超出了该有的范围，会出现A类错误。不知道如何解释？

答：可以用指令DFIX，来限定原子间的距离。

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XRD倒易空间（RSM）检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，XRD倒易空间（RSM）检测平台，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

在做单晶X射线衍射（单晶XRD）测试时，此法用射线计数仪直接记录射线的强度。单晶衍射仪有线性衍射仪、四圆衍射仪和韦森堡衍射仪等，其中以四圆衍射仪，为通用。所谓四圆是指晶体和计数器藉以调节方位的四个圆，分别称为φ圆、圆、w圆和2θ圆。φ圆是安装晶体的测角头转动的圆；圆是支撑测角头的垂直圆，测角头可在此圆上运动；w圆是使圆绕垂直轴转动的圆，2θ圆与w圆共轴，计数器绕着这个轴转动。这四个圆中，w圆、φ圆和圆用于调节晶体的取向，使某一的晶面满足衍射条件，同时调节2θ圆，XRD倒易空间（RSM）检测测试，使衍射线进入计数器中。通常，四圆衍射仪配用电子计算机自动控制和记录，可以测定晶格参数，并将衍射点的强度数据依次自动收集，简化了实验过程，而且大大提高了数据的度。因此，它已成为当前晶体结构分析中强有力的工具。

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1）若样品为退火态粉末，此时无应变产生，衍射线宽化完全因样品晶粒尺寸过小导致的，XRD倒易空间（RSM）检测报告，此时应选择SIZE only。

2）若样品为合金块状样品 ，结晶完整且加工过程中没有破碎，此时，线性宽化是由微观应变引起的，选择Strain only。

3）如样品存在上述两种情况，则应选择size/strain。

注意

a.利用XRD进行晶粒大小计算时，前提是假定晶粒为“球形”，所以其测出来的粒径不是很可靠，结果总是小于SEM和TEM，但无法进行和TEM时，其结果仍具有一定的参考依据。

b.该方法获得的晶粒尺寸是平均晶粒尺寸，是不同晶面上各衍射方向晶粒度大均值，若需要计算某一晶面上的晶粒尺寸，可采用“计算峰面积”命令。

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