XRD掠入射(GIXRD)检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,台湾XRD掠入射(GIXRD)检测,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
刚开始扣背底和平滑处理是否会把小峰直接去除;什么是三强风原则?测试本身是否会产生鼓包峰;有的人做出的origin 图xrd曲线显示晶格结构体心立方或者面心立方那个是如何判断的?
答:扣背景不会去除衍射峰,平滑处理会去除不明显的衍射峰。
所谓三强线是指比对纯物质强的三根衍射峰位置,如果三强线位置比对成功,一般而言可以初步判定该种物质的存在,具体的说,三强线指得是PDF卡片上强的三个衍射峰的值。以NaCl为例,参考05-0628,强的三峰是:
200面:d= 2.82100 强度 100.0;
220面:d=1.99400 强度 55.0
222面:d=1.62800 强度 15.0
检索的时候,先看实验数据里有没有200晶面的衍射峰。如果有,则继续找 220的,如果没有则不用再找了,这说明试样中不含有 NaCl。当这三个强峰都有的时候,就是符合三强峰原则。
测试本身会产生鼓包峰,比如样品太少或者太薄,X射线打到样品台,就会出现鼓包峰。
某个人的Origin图中XRD谱线显示晶格结构,那是他自己通过定性之后手动标上去的。
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动力学衍射理论
Ewald的理论称为动力学理论。该理论考虑到了晶体内所有波的相互作用,认为入射线与衍射线在晶体内相干地结合,而且能来回地交换能量。两种理论对细小的晶体粉末得到的强度公式相同,而对大块完整的晶体,则必须采用动力学理论才能得出正确的结果。
布拉格方程
1913年英国物理学家布拉格父子(W.H.Bragg,W.L.Bragg)在劳厄发现的基础,不仅成功地测定了NaCl、KCl等的晶体结构,XRD掠入射(GIXRD)检测平台,并提出了作为晶体衍射基础的公式──布拉格方程:2dsinθ=nλ
式中d为晶面间距;n为反射级数;θ为掠射角;λ为X射线的波长。布拉格方程是X射线衍射分析的根本依据。
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多尝试、详细记录单晶生长有很大偶然性。可采取少量样品多溶剂体系的办法反复尝试,提高成功的概率。例如,有 50 mg 样品,可以同时实验 5 种溶剂体系,每种溶剂体系尝试两次,每次 5 mg 。注意做好记录,以免重复采用已经失败的溶剂体系,而且单晶解析时往往需要知道所用的溶剂。
实验记录要详细。有时候测出晶体结构之后,还要收集更多晶体,以研究相关性能。如果实验记录不够详细,很可能造成晶体生长无法重复的后果。
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