XRD薄膜检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

X射线衍射技术（XRD）在建筑材料检测中的应用

应用实例采用X射线衍射分析时，扫描速度是一个很重要的试验参数，要根据不同建材产品的特征选择合适的扫描速度。如果扫描速度太快，会使衍射线强度下降，线形发生畸变，导致峰位偏移，分辨率下降；如果扫描速度太慢，又太浪费时间。

试验前，应事先准备好X射线衍射仪等设备，并选择合适的扫描范围、扫描电压和电流等条件。

由于不同物质其衍射图谱在衍射峰数目、角度位置、相对强度次序以至衍射峰的形状均会有所不同，将衍射图谱与标准PDF卡片进行比对，通过样品的X射线衍射图谱与已知的晶态物质的X射线衍射图谱的对比分析便可以完成样品物相组成和结构的定性鉴定；通过对样品衍射强度数据的分析计算，可以完成样品物相组成的定量分析。

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X射线衍射技术（XRD）在建筑材料检测中的应用

X射线衍射技术(X-ray diffraction，XRD薄膜检测平台，即XRD)，是对材料进行X射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。XRD采用单色X射线为衍射源，一般可穿透固体，从而验证其内部结构，因此XRD可以给出材料的体相结构信息。通过XRD技术，可实现对物质中的矿物相的定性和定量分析。

技术原理采用X射线对物质进行衍射分析，上海XRD薄膜检测，不同原子散射的X射线相互干涉，在某些特殊方向上产生强X射线衍射，衍射线在空间分布的方位和强度，与晶体结构密切相关，并会得到物质特有的衍射图谱。

应用领域由于XRD具有所需样品数量少、检测速度快、无污染、不损失检材及数据处理方便等特征，因此X射线衍射分析法作为材料结构和成分分析的一种现代科学方法，已在建筑材料、化学、生物等科学研究和行业生产中广泛应用。

采用XRD技术可进行物相的鉴定和定量分析，点阵常数测定，晶粒大小，微观应力，残余应力分析及薄膜分析，平行光路几何用于表面粗糙和不规则形状物体的相鉴定分析，小角X射线散射，XRD薄膜检测分析，直接分析纳米粒子的粒度，孔径分布计算，可进行纳米孔结构分析。

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XRD即X-raydiffraction的缩写，X射线衍射，通过对材料进行X射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。X射 线是一种波长很短(约为20～0.06埃)的电磁波，能穿透一定厚度的物质，并能使荧光物质发光、照相乳胶感光、*体电离。在用电子束轰击金属“靶”产生的X射线中，包含与靶 中各种元素对应的具有特定波长的X射线，称为特征（或标识）X射线。

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