半导体XRD检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，福建半导体XRD检测，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

X射线衍射技术（XRD）在建筑材料检测中的应用

应用实例采用X射线衍射分析时，扫描速度是一个很重要的试验参数，要根据不同建材产品的特征选择合适的扫描速度。如果扫描速度太快，会使衍射线强度下降，线形发生畸变，导致峰位偏移，半导体XRD检测价格，分辨率下降；如果扫描速度太慢，又太浪费时间。

试验前，应事先准备好X射线衍射仪等设备，并选择合适的扫描范围、扫描电压和电流等条件。

由于不同物质其衍射图谱在衍射峰数目、角度位置、相对强度次序以至衍射峰的形状均会有所不同，将衍射图谱与标准PDF卡片进行比对，通过样品的X射线衍射图谱与已知的晶态物质的X射线衍射图谱的对比分析便可以完成样品物相组成和结构的定性鉴定；通过对样品衍射强度数据的分析计算，可以完成样品物相组成的定量分析。

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●衍射峰形处理

?对原始衍射谱线进行峰形处理，例如扣除背底强度、强度校正和Kα双线分离等，以得到良好的衍射峰形，有利于提高定峰精度。

?当衍射峰前后背底强度接近时(尤其侧倾测量方式)，半导体XRD检测分析，不必进行强度校正。

?当Kα双线完全重合时，即使衍射峰形有些不对称，也不需进行Kα双线分离，此时只需扣除衍射背底即可，简化了数据处理过程。

●定峰方法

?应力测试，实质是测定同族晶面不同方位的衍射峰位角，其中定峰方法十分关键。

?定峰方法有多种，如半高宽中点法、抛物线法、法、高斯曲线法及交相关函数法。

?在实际工作中，主要根据衍射谱线具体情况，来选择合适的定峰方法。

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ECV又名扩散浓度测试仪，结深测试仪等，即电化学CV法测扩散后的载流子浓度分布。电化学ECV可以用于太阳能电池、LED等产业，是化合物半导体材料研究或开发的主要工具之一。电化学ECV主要用于半导体材料的研究及开发，其原理是使用电化学电容-电压法来测量半导体材料的掺杂浓度分布。电化学ECV(CV-Profiler， C-V Profiler)也是分析或发展半导体光-电化学湿法蚀刻(PEC Etching)很好的选择。

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