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半导体研究所 贵州XRD倒易空间(RSM)
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发布时间: 2022-09-24 18:46
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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

对样品粉末粒度的要求

  任何一种粉末衍射技术都要求样品是十分细小的粉末颗粒,使试样在受光照的体积中有足够多数目的晶粒。因为只有这样,才能满足获得正确的粉末衍射图谱数据的条件:即试样受光照体积中晶粒的取向是完全机遇的。这样才能保证用照相法获得相片上的衍射环是连续的线条;或者,才能保证用衍射仪法获得的衍射强度值有很好的重现性。

  此外,将样品制成很细的粉末颗粒,还有利于抑制由于晶癖带来的择优取向;而且在定量解析多相样品的衍射强度时,可以忽略消光和微吸收效应对衍射强度的影响。所以在精u确测定衍射强度的工作中(例如相定量测定)十分强调样品的颗粒度问题。



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如何在Jade中采用Sherrer公式计算晶粒尺寸?

Jade软件中直接集成了采用半峰宽来计算样品的晶粒尺寸这一功能,比较方便。要想使用该功能,首先必须在Edit-->Preferences-->Report里面勾上,Estimate Crystallite Size from FWHM Values。勾上之后就可以很方便的进行粒径分析了,如下图所示,采用EditToolbar中的积分按钮,XRD倒易空间(RSM)多少钱,在主峰下拉取基线,XRD倒易空间(RSM)哪家好,会自动弹出窗口,里面包含晶粒尺寸信息。注意,这里算出来的是平均尺寸,且使用范围为3-200 nm。 




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温度对薄膜晶面生长的影响

根据实验数据将不同温度所镀相同材料做出同一坐标下射线衍射强度—2倍衍射角曲线图,XRD倒易空间(RSM)选哪家,从图中可以分析出各个晶面衍射强度随温度的变化趋势,在不同温度下所镀膜层,其某一晶面衍射强度不同,衍射强度越大,说明该温度越有利于该晶面的生长。

温度升高的过程中:

(1)、有利于 BaF2 (200)、(400)晶面的生长。猜想,在>300c存在一温度有利于BaF2 (200)、(400)晶面的生长。

(2)、抑制BaF2 (111)、(311)晶面的生长。猜想在<250c存在一温度利于BaF2 (111)、(311)晶面的生长

(3)、温度升高对于 BaF2 (222)晶面则表现为基本相同。猜想,温度对BaF2(222)晶面生长几乎不影响,或者,250——300·c之间存在一温度利于或不利于BaF2 (222)晶面的生长。





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