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半导体单晶XRD靠谱 上海XRD掠入射(GIXRD)检测
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发布时间: 2023-04-04 17:31
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XRD掠入射(GIXRD)检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


我现在做介孔材料。介孔(孔径 2-50nm)在材料中成有序排列,象晶格一样的排列在材料中,孔壁、材料为非晶相。为什么 XRD 能粗测孔与孔的间距?我了解到的是,孔成有序排列,所以在小角度会有衍射峰,(001)面的峰值和孔径有关。但我不知道为什么?

跟长周期有关:大的孔需要大的周期,或者说是"孔面"间距,类似于"晶面间距"。"孔"意味晶体中该区域没有原子填充,没有填充原子就无衍射峰。而孔洞的边界是原子紧密排列的,原子密度相对较高,对应产生较强的衍射,强度较大。

大孔孔径大,空间重复周期大(即长周期),对应的晶面距大,产生的衍射在小角区。所说的(001)有强线对应的材料的晶体 C 轴较长,如果第是(100)则 A 轴较长。




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任何一个检索程序都需要一定的“检索条件”,JADE也不例外。

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尽管spike退火没有明显的滑移带, 高分辨率的X射线衍射成像图形结果中显示晶圆的边缘也出现了像钻石光源一样形状的成核位置。如图3所示,这些位置大多数处于晶圆边缘。在某些情况下,XRD掠入射(GIXRD)检测服务,有非常明显的局部应变,;而另外一些情况下,XRD掠入射(GIXRD)检测哪家好,没有明显的应变区域,。这种成核于晶圆边缘并向内延伸的位错类型呈半环形,沿着倾斜的{111}滑移面,依着平行于(100)晶圆表面的四个<011> 方向,向内部滑移。它们不均匀的分布在晶圆边缘。

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