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XRD倒易空间(RSM)检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
假如我使用几种强度的表示方法来计算含量呢?
通过X射线衍射分析软件的“寻峰”功能。我们能得到衍射峰的峰高和峰面积,你不妨试试分别通过峰高和峰面积来计算物相的含量,然后再作个平均,也许会比单纯地使用峰高或峰面积来计算结果一些。你会做峰形拟合吗?
X射线衍射峰的线形总是一种“钟罩”形函数,或者说可以使用一种钟罩形函数来拟合。你可以选择不同的峰形函数来做峰的拟合,看看哪个的误差小,说明衍射峰能使用这种函数来拟合。拟合完成后,拟合函数的高度、宽度和面积就会列表出来。
这时,你又得到一组强度数据,分别用高度和面积计算物相含量,会得到怎样的结果呢?当然也可以加入到前面的两种结果中,XRD倒易空间(RSM)检测服务,作一个4个结果的平均。这只是我的建议,并非一定要这么做。当衍射峰没有重叠,没有宽化,没有变形时,4种结果没有多少差别。只有当存在这些因素时,才会出现差别。如果峰形重叠,使用拟合能将重叠峰分离开来,以消除其它物相附加的强度,单纯的寻峰是不能做到这一点的。但是,拟合时要特别注意背景线的取舍,拟合得不好可能会产生很大的误差。拟合峰数据用来计算一些粘土矿物的含量时,显得尤为有意义。因为这些物相的峰形往往不对称,矮而宽,底部拖得特别宽,而且多有重叠。单纯的寻峰数据使物相含量的计算结果偏小。不过,用拟合数据计算出来的又往往偏高。两者中和一下,也许与真实的结果差不离了。
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但是,Kβ滤片不能去除样品产生的荧光 X 射线对衍射图的影响。荧光 X 射线的强度将叠加在衍射图的背景上,造成很高的背景,不利于衍射图的分析。因此,对于 X 射线衍射仪 来讲,如果设备没有配置弯晶石墨单色器仅使用 Kβ滤片,选波长(或者说选靶)主要考虑的就是样品中的主要组成元素不会受激发而产生强烈的荧光X 射线。如果分析样品中的元素的原子序数比靶的元素的原子序数小1至4,就会出现强的荧光散射。
例如使用 Fe 靶分析主要成分元素为 Fe、Co、Ni 的样品是合适的,而不适合分析含有 Mn Cr V Ti 的物质;Cu 靶不适合于分析有 Cr,Mn,Fe,Co,Ni 这些元素的物质。所以,对于 Cr 是主要组成元 素的样品,只能选择 Cr 靶 X 射线管。
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如何计算出来理论衍射图(给定晶格参数和实验参数后,如何计算得到 X 射线衍射图)?
先,模拟(就是你说的"计算")是要基于许多理论模型的,因为粉末衍射图样的形成要 受很多因素的影响,峰的位置、形状,峰彼此之间的影响都可以用一些模型来描述,三两句话说不清楚;
第二,有大量的现成的软件可以用;
第三,XRD倒易空间(RSM)检测分析,如果你打算把粉末衍射的模拟作为你的研究课题,你应该多看一些文献和基本原理 的介绍。只要你有了晶胞参数、原子坐标,就可以用大量的现成的软件来计算出的X 射线粉末衍射图。
有单晶 X 射线衍射推算出来的晶胞参数,请问我怎么才能反推算出该晶体的粉晶衍射图?
需要原子坐标!如果你有结构数据,就可以从理论上算出粉末衍射图。例如,通过Fullprof、 Diamond软件工具即可以得到该晶体的粉末 XRD 图,也可以使用 Materials Studio 的 reflex plus 模块算出来,不用自己手工算了。
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