半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，XRD小角度，以及行业应用技术开发。

晶体晶粒细化，多晶试样中存在宏观应力时，衍射花样的变化情况是怎样？

　　不管是粉末试样还是（多）晶体试样，粉末颗粒或晶粒太粗，参加衍射的晶粒少，会使衍射线条起麻，XRD小角度联系方式，衍射的重现性但粉末颗粒或晶粒过细时，会使衍射线条变宽，这些都不利于分析工作。存在宏观内应力的效应是使得衍射环或衍射峰的位置改变，导致底片上的衍射线条变宽，不利于分析工作。

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SAXS

SAXS又称为小角x射线散射，如果试样具有不同电子密度的非周期性 结构(晶区和非晶区)，则x射线被不相干 散射，有波长的改变，这种过程称为漫射x射线衍射效应(简称散射)，在小角度上测定所以又称为：小角x射线散射 (SAXS)。

WAXD

WAXD又称为大角X射线衍射，如果试样具有周期性结构(晶区)，则x射线被相干散射，入射光与散射光之间没有波长的改变，广西壮族自治XRD小角度， 这种过程称为x射线衍射效应，在大角度上测定：又称为大角X射线衍射（WAXD）

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自从伦琴于1895年发现X射线以来，人们对X射线的应用开展了深入的研究。X射线衍射技术是利用X射线在晶体、非晶体中衍射与散射效应，进行物相分析、结构类型和不完整性分析的技术，可广泛应用于物理学、化学、分子物理学、医学、金属学、材料学、高分子科学、工程技术学、地质学、矿物学等学科领域，是目前应用广泛的一项技术，XRD小角度哪里有，在材料现代分析方法中占有重要的地位。XRD主要应用于定性相分析、定量相分析、晶粒大小的测定、材料的宏观和微观应力测定、织构(择优取向)分析、取向度和晶体及多晶体的定向测量。

本文主要介绍利用XRD衍射仪测量晶体衍射峰强度，从而了解所镀膜层随温度变化晶体生长取向的变化趋势，以及根据晶体对应密勒指数下的衍射峰的半高宽计算晶粒大小，进而对薄膜材料的制备条件有更为深入的了解。

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