半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

制作粉末衍射仪试片的技巧

　　粉末衍射仪要求样品试片具有一个十分平整的平面，而且对平面中的晶粒的取向常常要求是完全无序的，不存在择优取向（在粘土分析中有时又要求制作定向的试片）。 制作合乎要求的衍射仪试片常用的方法

　　通常很细的样品粉末（手摸无颗粒感），如无显著的各相异性且在空气中又稳定，则可以用“压片法”来制作试片。先把衍射仪所附的制样框用胶纸固定在平滑的玻璃片上（如镜面玻璃，显微镜载玻片等），然后把样品粉末尽可能均匀地洒入（是用细筛子—360目筛入）制样框的窗口中，再用小抹刀的刀口轻轻剁紧，使粉末在窗孔内摊匀堆好，然后用小抹刀把粉末轻轻压紧，用保险刀片（或载玻片的断口）把多余凸出的粉末削去，然后，小心地把制样框从玻璃平面上拿起，便能得到一个很平的样品粉末的平面。此法所需样品粉末量较多，约需0.4cm3。

　　“涂片法”所需的样品量少。把粉末撒在一片大小约 25×35×1mm3的显微镜载片上（撒粉的位置要相当于制样框窗孔位置），然后加上足够量的或酒精（假如样品在其中不溶解），使粉末成为薄层浆液状，均匀地涂布开来，粉末的量只需能够形成一个单颗粒层的厚度就可以，待蒸发后，粉末粘附在玻璃片上，可供衍射仪使用，若样品试片需要保存，可滴上一滴稀的胶粘剂。

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XRD制图有哪些常用软件?

有High score，Jade，半导体薄膜哪里有，Search match，比较常用的是前两种。

High score优势:

1．可以调用的数据格式更多;

2．窗口设置更人性化，用户可以自己选择;

3．谱线位置的显示方式，可以更直接地看到检索情况;

4．手动加峰或减峰更加方便;

5．可以对衍射图进行平滑等操作，使图更漂亮;

6．可以更改原始数据的步长、起始角度等参数;

7．可以进行O点校正，上海半导体薄膜，对峰的外形进行校正;

8．可以进行半定量分析;

9．可以编写批处理命令，对于同一系列的衍射图，—键搞定。

Jade优势:

1．可以进行衍射峰的指标化;

2．进行晶格参数的计算;

3．根基标样对晶格参数进行校正;

4．轻松计算峰的面积、质心;

5．出图更加方便，可以再涂上进行编辑。

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布拉格方程——XRD理论的基石

　　布拉格方程是X射线在晶体中产生衍射需要满足的基本条件，其反映了衍射线方向和晶体结构之间的关系。

布拉格方程：2dsinθ=nλ

　　其中，θ为入射角、d为晶面间距、n为衍射级数、λ为入射线波长，2θ为衍射角

　　注意：

　　（a）凡是满足布拉格方程式的方向上的所有晶面上的所有原子衍射波位相完全相同，其振幅互相加强。这样，在2θ方向上面就会出现衍射线，而在其他地方互相抵消，半导体薄膜机构，X射线的强度减弱或者等于零

　　（b）X射线的反射角不同于可见光的反射角，X射线的入射角与反射角的夹角永远是2θ。

　　（3）谢乐公式——测晶粒度的理论基础

　　X射线的衍射谱带的宽化程度和晶粒的尺寸有关，晶粒越小，其衍射线将变得弥散而宽化。谢乐公式又称Scherrer公式描述晶粒尺寸与衍射峰半峰宽之间的关系。

　　K为cherrer常数，B为衍射峰半宽高，K=0.89，若B为衍射峰积分宽度，k=1

　　θ为衍射角、λ为x射线波长，d为垂直于晶面方向的平均厚度

　　注意：利用该方程计算平均粒度需要注意：

　　（1）为半峰宽度，即衍射强度为极大值一半处的宽度，单位为弧度

　　（2）测定范围3-200nm

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