半导体衬底单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，半导体衬底，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

简便性：仪器一键式操作，无需校正，自动检测，无需额外注意高压系统和水循环冷却系统（仪器无额外高压和水循环冷却系统）。

　　制样简单：单次分析仅需要15毫克左右的样品即可获得的检测结果，样品制备无需制片、压片、刮平等，3分钟即可完成样品制样（粉碎、滤筛、装样）。

　　数据传输：仪器通过USB， 蓝牙，甘肃半导体衬底，WIFI与笔记本电脑实现高速连接，实时对映SHINE仪器进行控制及物相分析。

　　良好的环境适应性：专为地质考察而研制，仪器可防雾、防尘、防震动，能适应恶劣的使用环境。

　　安全性：的多重防护辐射处理，测量时仪器无任何辐射泄漏。

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xrd操作步骤

样品准备：

样品在实验前应磨成平滑去氧化的表面，并用酒精清洗，若用样品是粉末，均匀平铺粘在胶布上。

设备的操作步骤如下：

1.开实验室电源，包括实验室总电源，三相电源，仪器电源及冷却循环水电源等。

2.打开控制软件：打开计算机，打开桌面的“XG Operation” ， 进入“XG control RINT2200 Target：Cu” 窗图。

3.测试样品放置： 压好样品后，把样品放入仪器前，一定要按仪器面板上的“DOOR OPEN”！直到听见断续的“哔、哔、…”蜂鸣声，才可以打开仪器的铁门放置样品，取出样品同样操作，否则，X的光会伤害人体！且损害仪器。

4.仪器对样品测试： 打开右系统样品测试控制软件：双击桌面的：“Standard measurement”，进入Standard measurement[Right]窗，注意此窗的Use列：Yes则用此行的测量条件，要求此列别的均为”No”；改好路径名（Folder name）以及文件名（File name）；双击Condition列对应行的数字格，则进入该行的测量条件选择，按需求设置好各参数后，点击键，进入执行测量。

5.关机过程：按要求关闭控制软件，过 10分钟后 才能关冷却循环水电源：按“停止”。

后关计算机、空调、水。搞好卫生、带走废液，关好窗、门 （因为房间要抽湿，通常不用关总电源）。

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EDS，XRD和XPS进行成分分析的相同点和不同点是什么

任何结晶物质都有其特定的晶体结构参数，当X射线通过晶体时，产生特定的衍射图形，即衍射谱线，半导体衬底联系方式，不同物质混在一起时，半导体衬底费用多少，它们各自的衍射数据将同时出现，互不干扰地叠加在一起。因此，可根据各自的衍射数据来鉴定各种不同的物相。

　　XRD物相定性分析是将样品的衍射数据与已知物相的衍射数据或图谱进行对比，一旦二者相符，则表明待测物相与已知物相是同一物相。

　　灵敏度较低，一般只能测定样品中含量在1%以上的物相，同时，定量测定的准确度也不高，一般在1%的数量级。XRD物相分析所需样品量大（0.1g），才能得到比较准确的结果，对非晶样品不能分析。

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半导体XRD检测机构(图)-半导体衬底-甘肃半导体衬底由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所位于广州市天河区长兴路363号。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前半导体研究所在技术合作中享有良好的声誉。半导体研究所取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。半导体研究所全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。