AlGaN材料XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

XRD的图谱怎么看？如何简单分析XRD图谱

可以从以下步骤简单分析

1、定性分析（XRD的主要功能），通过八强峰匹配标准pdf卡片，得知样品是由哪些物质构成的。

2、通过看峰宽等来分析结晶度，峰越尖锐，结晶度越好。

3、看信噪比，信噪比越高，说明这张XRD图拍得越好，越。

当然，还有许多信息，包括物质晶系、晶胞参数、各物质定量分析、等，但是那个不是简单分析了。

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当然，我们还得提一提结晶度的影响。一些结晶不好的物相，部分地存在非晶，当然会使衍射峰变宽变低。在一些粘土矿物中，AlGaN材料XRD检测哪家好，这种现象表现得尤为明显。不知你注意了没有，上面的文字中多次用到低而宽，高而窄这样的词。这就是说，一个峰如果变宽了，势必会使峰变低，以保持衍射峰的面积基本不变。从这一点来看，如果各物相的衍射峰宽度不同，用面积来作为强度计算含量似乎要准确一些。

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强度到底应该如何表示？

前面已经提到，衍射强度的定义与RIR值的定义有差别。因此，在计算物相的质量分数时到底应当用峰高还是用积分面积来作为衍射强度呢？如果使用峰高，则与衍射的积分强度定义相背，AlGaN材料XRD检测报告，肯定会带来误差，如果使用积分强度，又与RIR值定义相背。因此，不论你使用哪个值来作为强度都会存在较大的误差。

现在，西藏自治AlGaN材料XRD检测，我们来看看，误差到底从哪里出来的。上面已经提到，只有当衍射峰的半高宽完全相同时，衍射峰高与面积相当。那么，在什么情况下会出现衍射峰的宽度不同呢？

（1）衍射峰宽度是衍射角的函数，不同衍射角的衍射峰宽度是不同的。这一点我们很能看得明白，低角度的衍射峰总是较窄，但当衍射角较高时，我们看到的衍射峰低而宽，有时漫散得我们都不想把它们扫描出来。

（2）不同晶粒尺寸的衍射峰宽度是不同的。细晶粒物相的衍射峰低而宽，结晶完好的粗晶粒物相的衍射峰锐而窄。

（3）存在应力的样品，同样使衍射峰变宽。

（4）如果存在微观的缺陷，会使衍射峰的线形变化，也会影响面积与峰高的关系。

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