半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，半导体衬底哪家好，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

设备介绍：

X射线/紫外光电子能谱仪（XPS/UPS）利用X射线（或者紫外线）照射样品激发出光电子，并通过检测和分析光电子动能大小与光电子信号强度的关系，确定样品中所含元素种类及其化学态。Nexsa具备XPS、UPS功能，可采用微聚焦小光斑（小10 μm）实现微区成像与成分分析，并具有深度剖析功能，可以检测分析块体、薄膜、粉末或器件等固体样品的元素组成、化学价态、价带、功函数等信息。

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没有它的粉晶射线图，但是有根据其单晶 X 射线衍射推算出来的晶胞参数，请问我怎么才能反推算出该晶体的粉晶衍射图？

　　如果你有结构数据，就可以从理论上算出粉末衍射图的，半导体衬底费用，可以使用 Materials Studio 的 reflex plus 模块算出来；有原子坐标，特别行政半导体衬底，通过 diamond 也可以得到它的粉末 XRD 图。

　　如何分析出其晶体结构而确定是我们预期的物质呢？

　　如果能够在 ICDD 的粉末衍射数据库中找到你预期的物质的衍射据，做一个 XRD 鉴定即可确定。

　　用 Jade5 软件可以进行 XRD 定量分析吗?

　　XRD 定量分析的基础数据是样品中各组成物相的强度数据（原理上应该用峰的面积数据），余下的工作便是些乘除比例的运算了，使用表格软件（如 WPS Ofice 的"WPS 表格"、微软的 Excel）完成甚为方便。因此，使用任一能够获得峰面积或峰高的软件工具都可以进行 XRD定量分析，当然，有 Jade 软件更为方便。

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应用领域：

XPS因其独有的元素化学态识别功能，广泛应用于固体物理学、材料科学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、微电子技术、半导体、新能源等各个领域的材料与器件的检测分析。

l 元素种类以及含量（半定量）

l 元素化学价态、化学键分析

l 元素浓度随深度分布

l 不同化学态的各种元素在表面分布成像

l 材料或器件的微区分析

l 薄层成分、膜层厚度以及界面结构、元素偏析迁移等信息

l 器件表面不同位置的镀层结构或污染来源

UPS广泛应用于物理化学、有机化学、表面物理、太阳能电池等各个领域的材料表面电子态的检测分析。

l 价电子能带谱

l 功函数

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特别行政半导体衬底-半导体XRD测试由广东省科学院半导体研究所提供。特别行政半导体衬底-半导体XRD测试是广东省科学院半导体研究所今年新升级推出的，以上图片仅供参考，请您拨打本页面或图片上的联系，索取联系人：王小姐。