半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，半导体衬底服务，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

XRD主要测什么?

1、晶体结构分析;

2、物相定性分析;

3、物相定量分析;

4、晶粒大小分析;

5、结晶度分析;

6、宏观应力和微观应力分析;

7、择优取向分析

XRD图谱怎么分析?

1、在衍射仪获得的XRD图谱上，如果样品是较好的"晶态"物质，图谱的特征是有若千或许多个一般是彼此独立的很窄的“尖峰”。

2、如果这些“峰”明显地变宽，则可以判定样品中的晶体的颗粒尺寸将小于300nm，可以称之为"微晶"。

3、Scherer(118)揭示了衍射峰的增宽是对应晶面方向上的原子厚度(县数|不足以在偏离Bragg条件下相干减弱(destructivelyinterference)衍射峰。当衍射峰宽度增加到接近其高度时(或高度下降到接近其宽度时)，可认为样品是非晶。

4、同一物质的话，峰窄说明晶粒比较大，半导体衬底机构，和结晶度无关。同一台仪器测试且测试条件相同的情况下，峰高的比较多才能说明结晶情况较好

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"要重视特征线"，那么什么是特征线？"同一个物相可能有多套衍射数据，新疆维吾尔自治半导体衬底，但要注意有的数据是被删除的"，这是什么意思？

　　所谓的特征线就是某物质而且是独有的容易判断的线，如石英的特征线就是 d=3.34的线，在混合物中如果出现这条线，有石英的可能性就大，其它也是这样，这在混合物中查物相是很有用的。

　　同一个物相可能有多套衍射数据是指有多个卡片的数据都是一个相，比如石英（SiO2）从 1 到 49 卷都有数据，共有 93 个数据卡片，但是 1-8 卷 15，16，33-1161，42-391 等（共38 个）这些卡片都是卡片库的编者已经删除的。

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设备介绍：

X射线/紫外光电子能谱仪（XPS/UPS）利用X射线（或者紫外线）照射样品激发出光电子，并通过检测和分析光电子动能大小与光电子信号强度的关系，确定样品中所含元素种类及其化学态。Nexsa具备XPS、UPS功能，可采用微聚焦小光斑（小10 μm）实现微区成像与成分分析，并具有深度剖析功能，可以检测分析块体、薄膜、粉末或器件等固体样品的元素组成、化学价态、价带、功函数等信息。

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半导体XRD研究所-新疆维吾尔自治半导体衬底由广东省科学院半导体研究所提供。半导体XRD研究所-新疆维吾尔自治半导体衬底是广东省科学院半导体研究所今年新升级推出的，以上图片仅供参考，请您拨打本页面或图片上的联系，索取联系人：王小姐。