半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
"要重视特征线",那么什么是特征线?"同一个物相可能有多套衍射数据,但要注意有的数据是被删除的",这是什么意思?
所谓的特征线就是某物质而且是独有的容易判断的线,如石英的特征线就是 d=3.34的线,在混合物中如果出现这条线,XRD薄膜测试机构,有石英的可能性就大,其它也是这样,这在混合物中查物相是很有用的。
同一个物相可能有多套衍射数据是指有多个卡片的数据都是一个相,比如石英(SiO2)从 1 到 49 卷都有数据,共有 93 个数据卡片,但是 1-8 卷 15,16,33-1161,42-391 等(共38 个)这些卡片都是卡片库的编者已经删除的。
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[物相分析方面的问题] 样品卡与标准卡对比原则?
提供几条原则供大家参考:
1. .对比 d 值比对比强度要重要;
2. 低角度的线要比高角度的线要重要;
3. 强线比弱线重要;
4. 要重视特征线;
5. 同一个物相可能有多套衍射数据,但要注意有的数据是被删除的;
6. 个别低角度线出现缺失;
7. 由于样品择优取向某些线的强度会发生变化;
8. 有时会出现无法解释的弱线,这是正常的,不能要求把所有的线都得到解释。
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XRD主要测什么?
1、晶体结构分析;
2、物相定性分析;
3、物相定量分析;
4、晶粒大小分析;
5、结晶度分析;
6、宏观应力和微观应力分析;
7、择优取向分析
XRD图谱怎么分析?
1、在衍射仪获得的XRD图谱上,如果样品是较好的"晶态"物质,西藏自治XRD薄膜测试,图谱的特征是有若千或许多个一般是彼此独立的很窄的“尖峰”。
2、如果这些“峰”明显地变宽,XRD薄膜测试价格,则可以判定样品中的晶体的颗粒尺寸将小于300nm,可以称之为"微晶"。
3、Scherer(118)揭示了衍射峰的增宽是对应晶面方向上的原子厚度(县数|不足以在偏离Bragg条件下相干减弱(destructivelyinterference)衍射峰。当衍射峰宽度增加到接近其高度时(或高度下降到接近其宽度时),可认为样品是非晶。
4、同一物质的话,XRD薄膜测试服务,峰窄说明晶粒比较大,和结晶度无关。同一台仪器测试且测试条件相同的情况下,峰高的比较多才能说明结晶情况较好
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