半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

XRD全称X射线衍射（X-RayDiffraction），利用X射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后X射线信号特征，经过处理得到衍射图谱。利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相，并拥有“透i视眼”来看晶体内部是否存在缺陷（位错）和晶格缺陷等，下面就让咱们来简要的了解下XRD的原理及应用和分析方法，下面先从XRD原理学习开始。

X射线衍射仪的基本构造

　　XRD衍射仪的适用性很广，通常用于测量粉末、单晶或多晶体等块体材料，并拥有检测快速、操作简单、数据处理方便等优点，是一个标标准准的“良心产品”。

　　在X射线衍射仪的世界里， X射线发生系统（产生X射线）是“太阳”，测角及探测系统（测量2θ和获得衍射信息）是其“眼睛”，记录和数据处理系统是其“大脑”，XRD摇摆曲线费用多少，三者协同工作，输出衍射图谱。在三者中测角仪是核i心部件，其制作较为复杂，直接影响实验数据的精度，XRD摇摆曲线，毕竟眼睛是心灵的窗户嘛

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为什么晶粒尺寸的变化会引起 X 射线衍射的峰线宽化？

　　理想的晶体是在三维空间中无i限的周期性延伸的，所以，如果不考虑仪器宽化的因素，那么理想晶体的衍射峰应该是一条线，但是实际晶体都是有尺寸的，即，周期性不是无i限的，这就造成了由于结晶粒度引起的宽化，如果结晶粒度无i限小下去，西藏自治XRD摇摆曲线，衍射峰就会宽化直至消失变成大鼓包了，也就是非晶了。

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X射线衍射仪XRD常见问题：

1）为什么要求XRD测试粉末样品要稍微多一些？

因为粉末样品要铺满整个样品台，不然X射线可能会打在样品台上，影响数据质量。

2）为什么XRD测试要求薄膜（块体）样品尺寸要合适？

因为放置薄膜（块体）样品的样品台尺寸是固定的，用橡皮泥来固定样品，样品太大放不进去，样品太小不好固定。

3）为什么XRD数据的峰强度较低，甚至没有明显的衍射峰？

样品的衍射峰强度跟样品本身的结晶度有关，其次跟样品量以及仪器的功率有关系。

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